Afgangur og hreinlæti – falin mengunarhætta
Í mörgum iðnaðarforritum fer smá mengun frá skothylkihitara óséður. Nokkrar sameindir af olíugufu eða snefil af oxíðryki hafa ekki áhrif á ferlið. Í lofttæmisnotkun, sérstaklega þeim sem fela í sér viðkvæmt yfirborð eða há-hreinleika, er mengun skelfileg. Einn skothylki hitari getur útgasað nóg efni til að eyðileggja heila lotu af hálfleiðara oblátum eða koma í veg fyrir sjónhúð.
Afgasun er losun aðsogaðra lofttegunda, vatnsgufu og rokgjarnra íhluta úr efnum í lofttæmi. Hvert efni losnar að einhverju leyti út. Hraðinn fer eftir efninu, yfirborði þess, hitastigi þess og lofttæmisstigi. Fyrir skothylkishitara eru uppsprettur útgasunar meðal annars slíðuryfirborðið, magnesíumoxíð einangrunin, innsiglingarnar og einangrun blývírsins.
Í venjulegum skothylkihitara inniheldur magnesíumoxíð einangrunin aðsogaðan raka. Við loftþrýsting er þessi raki skaðlaus. Í lofttæmi losnar það, mengar hólfið og getur hugsanlega valdið tæringu eða rafmagnsleka. Lofttæmi-hylkjahitarar nota MgO sem hefur verið sérstaklega unnið-bakað við háan hita undir lofttæmi-til að reka raka frá sér fyrir samsetningu. Þessi vinnsla er nauðsynleg fyrir litla-afköst við útgas.
Slíðurefnið sjálft getur útgasað. Yfirborðsoxíð, vinnsluolía og meðhöndlun mengun stuðla allt að. Tómarúmhylkjahitarar eru framleiddir með nákvæmum hreinsunarferlum, oft þar með talið ultrasonic hreinsun í sérhæfðum leysiefnum, fylgt eftir með lofttæmisbakstur. Meðhöndlun með hreinum hönskum og umbúðir í lokuðum pokum varðveitir hreinleika fram að uppsetningu.
Lokaþéttingar eru algeng uppspretta gasgjafar. Lífræn efni eins og sílikon, epoxý eða plast einangrunarefni gefa frá sér rokgjörn efnasambönd í lofttæmi. Lofttæmihylkjahitarar nota ólífræn innsigli-keramik-í-málm, gler-í-málm eða þjöppunarþéttingar með málmþéttingum-sem hafa afar lágan útgashraða. Þessar innsigli eru dýrari en nauðsynlegar fyrir hreina ryksuguþjónustu.
Blývír einangrun er annar mögulegur mengun. Venjulegt PVC eða jafnvel sumar flúorfjölliður geta losað sig við gas. Til notkunar í lofttæmi eru sérstaklega samsettar einangrunarefni með lítilli-útgasun, eða notkun á berum málmleiðum með einangrunarefni úr keramikperlum, æskilegt.
Afgashraði skothylkishitara er mældur og tilgreindur. Fyrir krefjandi forrit eins og hálfleiðaravinnslu eða rýmishermingu, gæti verið krafist að hitari uppfylli sérstakar útgasstaðla, eins og þær sem eru skilgreindar af ASTM E595. Þetta próf mælir heildarmassatap og safnað rokgjörn þéttanleg efni, sem gefur magnmælingu á hreinleika.
Samkvæmt reynslunni er ein algeng yfirsjón að gera ráð fyrir að hitahylki sem notaður er með góðum árangri í grófu lofttæmi muni standa sig jafn vel í miklu lofttæmi. Afgangur eykst þegar þrýstingur lækkar; hitari sem er viðunandi við 1 torr getur verið óviðunandi við 10⁻⁶ torr. Nauðsynlegt er að passa rörlykjuhitara við raunverulegt lofttæmisstig umsóknarinnar.
Í stuttu máli, losun og hreinlæti eru mikilvæg atriði fyrir lofttæmandi skothylki hitara. Allt frá MgO einangrun til slíðuryfirborðs til lokaþéttinga verður að velja og vinna hvern íhlut fyrir litla útgasun. Fyrir forrit sem krefjast ofur-hreins tómarúms, er nauðsynlegt að tilgreina skothylkihitara með skjalfestan afköst og rekjanlega vinnslu. Faglegt samráð tryggir að valinn hitari uppfylli hreinlætiskröfur tiltekins tómarúmsferlis.
